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技術文章混合氣體配比氣體混配器流量流量配比可將多種氣體安一定比例均勻混合后通入到管式爐中。各種氣體的流量是通過精密的質量流量計來控制,流量計和混氣罐都安裝在一個移動柜內。此系列設備可用于搭建CVD系統,也可為...
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